ZEISS的場發(fā)射掃描電鏡全部采用新型鏡筒（GEMINI）設(shè)計(jì)，具有優(yōu)良的高、低加速電壓性能；InLens設(shè)計(jì)是目前真正的內(nèi)置鏡筒電子束光路上二次電子探測器，其具有靈敏度和高的接收效率，而且只接收來自樣品表面的二次電子，因此具有分辨率和圖像質(zhì)量，二次電子探測器和背散射電子探測器均內(nèi)置于鏡筒電子束光路上，試樣的工作距離不受背散射探測器的影響，可以非常接近極靴，這樣可以同時獲得二次電子像分辨率和背散射電子像分辨率，且接收的背散射電子的能量可以控制。創(chuàng)造性的采用電磁、靜電復(fù)合式物鏡，雜散磁場小，可對鐵磁體樣品進(jìn)行高分辨率成像。

SIGMA是一臺高性能、功能強(qiáng)大的高分辨應(yīng)用型掃描電子顯微鏡。系統(tǒng)采用多接口的大樣品室和藝術(shù)級的物鏡設(shè)計(jì)，提供高真空成像功能，可對各種材料表面作分析。并且具有業(yè)界**的X射線分析條件，樣品臺為五軸全自動控制。標(biāo)準(zhǔn)的高效率無油渦輪分子泵滿足快速的樣品更換和無污染成像分析。

主要參數(shù)：

1.   工作條件

1.1.      電源電壓：220V±10V, 單相 50Hz

1.2.      工作溫度：18°C～25°C

1.3.      接地：獨(dú)立的接地線

1.4.      儀器運(yùn)行的持久性：長時間連續(xù)工作

1.5.      磁場：≤ 3 mGauss

1.6.      濕度：≤ 60% RH

2.   性能

2.1.      分辨本領(lǐng)

二次電子像分辨率：

1.3nm (20 kV)   1.5nm (15 kV)   2.8nm (1kV)
 2.2.      電子源加速電壓：
調(diào)整范圍：100 V～30 kV   調(diào)整步長：每檔10 V連續(xù)可調(diào)

2.3.      探針電流：

4 pA～20 nA    穩(wěn)定性: 優(yōu)于 0.2%/h

2.4.      放大倍率：范圍: 12×～1000,000×

放大倍數(shù)調(diào)整：粗、細(xì)調(diào)模式連續(xù)可調(diào)

預(yù)設(shè)定：可從用戶菜單中選擇設(shè)定值

自動補(bǔ)償：隨著工作距離或加速電壓的變化，自動**校正放大倍數(shù)。

校準(zhǔn)：對于圖像輸出裝置的改變，自動**校正放大倍數(shù)。

3.   電子光學(xué)系統(tǒng)

3.1.      電子發(fā)射源：Schottky型場發(fā)射（熱場發(fā)射）電子源

3.2.      透鏡系統(tǒng)：電磁/靜電式透鏡會聚系統(tǒng)

3.3.      聚焦：工作距離：范圍可由1mm至50mm。

控制：具有靈敏度與放大倍數(shù)相關(guān)的粗調(diào)和細(xì)調(diào)。

自動聚焦控制：粗調(diào)、細(xì)調(diào)。

聚焦補(bǔ)償：在整個加速電壓變化范圍內(nèi)，自動補(bǔ)償。

動態(tài)聚焦：對傾斜樣品進(jìn)行聚焦矯正。

旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償：自動矯正由于工作距離的變化引起的圖像旋轉(zhuǎn)。

傾斜補(bǔ)償：自動矯正由于樣品傾斜引起的放大倍數(shù)變化。

3.4.      消像散器

八極電磁式系統(tǒng)

3.5.      光欄

數(shù)量：不少于 5個

調(diào)整：電磁選擇和軟件調(diào)整

3.6.      掃描

掃描速率：0.1秒/幀～30分/幀（或更寬）

掃描方式：全幀、選區(qū)、定點(diǎn)、線掃描、掃描旋轉(zhuǎn)、傾斜補(bǔ)償

3.7.      電子束位移不小于15μm

4.   樣品室

4.1.      樣品室尺寸： 330mm（直徑）x 270mm（高）

4.2.      *大樣品尺寸： 200mm（直徑）

4.3.      樣品置換時間（抽真空時間）：不大于 5分鐘

4.4.      附件接口：

在樣品室上提供不少于六個附件接口，可同時接X射線能譜、背散射電子探測器等。

4.5.      樣品臺

類型：5軸馬達(dá)驅(qū)動

裝配方式：抽屜式拉門。

控制：雙操縱桿控制盒

移動范圍: X：125mm  Y：125mm   Z：50mm   T：0°～+90°

R：360°連續(xù)可調(diào)

   5.   探測器

5.1.      探測器類型

鏡筒內(nèi)（In-lens）二次電子探測器

樣品室二次電子探測器

背散射電子探測器

CCD 攝像機(jī)

5.2.      控制

自動對比度/亮度       手動對比度/亮度

6.   信號選擇

二次電子信號、背散射電子信號等，任何二個通道信號都可進(jìn)行混合，以獲取更佳的圖像效果。

7.   圖像顯示

7.1.      存儲分辨率:不小于 3k x 2k像素

7.2.      顯示分辨率:1024 x 768像素

7.3.      降噪處理：像素平均、連續(xù)平均、幀和行疊加

7.4.      具有數(shù)據(jù)區(qū)、狀態(tài)顯示、圖像注釋和測量功能

7.5.      可在Windows支持的外部設(shè)備上存儲及打印圖像

8.   顯示器：19" 液晶顯示器

9.   計(jì)算機(jī)環(huán)境（*低配置）

9.1.      中央處理器：CPU：Intel P4 3.2GHz。內(nèi)存：512MB

9.2.      操作系統(tǒng)：Microsoft Windows XP

9.3.      外界接口：串行、并行、SCSI、USB 2.0接口、網(wǎng)絡(luò)。

9.4.      磁盤驅(qū)動器：  硬盤：*小 120 GB；CD刻錄機(jī)。

9.5.      電鏡控制操作軟件。

10. 真空系統(tǒng)：

全自動控制

樣品室極限真空度：優(yōu)于2.0×10^-4Pa